Memercik magnetron reaktif ialah teknik matang untuk mendepositkan lapisan sebatian nipis pada gamut luas substrat sebagai lapisan atas atau sebagai lapisan perantaraan dalam salutan berbilang lapisan. Skop "nipis" berjulat daripada beberapa nanometer hingga beberapa mikrometer.
Mengapa magnetron terpercik?
Percutian magnetron ialah proses perlanggaran antara zarah kejadian dan sasaran … Percikan magnetron meningkatkan ketumpatan plasma dengan memperkenalkan medan magnet pada permukaan katod sasaran dan menggunakan kekangan medan magnet pada zarah bercas untuk meningkatkan kadar percikan.
Apakah yang dimaksudkan dengan sputtering reaktif?
Reaktif sputtering ialah proses yang membolehkan sebatian dimendapkan dengan memasukkan gas reaktif (biasanya oksigen atau nitrogen) ke dalam plasma yang biasanya dibentuk oleh gas lengai seperti argon (paling biasa), xenon atau kripton.
Bagaimanakah magnetron sputter berfungsi?
Magnetron sputtering ialah teknologi pemendapan yang melibatkan plasma gas yang dijana dan terhad kepada ruang yang mengandungi bahan yang akan dimendapkan – 'sasaran'. … Perlanggaran ini menyebabkan tolakan elektrostatik yang 'mematikan' elektron daripada atom gas yang terpercik, menyebabkan pengionan.
Mengapa RF tergagap-gagap?
RF atau Radio Frequency Sputtering ialah teknik yang terlibat dalam menukar potensi elektrik arus dalam persekitaran vakum pada frekuensi radio untuk mengelakkan cas terkumpul pada jenis bahan sasaran sputtering tertentu, yang lama kelamaan boleh mengakibatkan lengkok ke dalam plasma yang memuntahkan titisan …
